产品详情
  • 产品名称:过程监控UGAPM多达 300 amu气体分析仪

  • 产品型号:
  • 产品厂商:美国SRS
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简单介绍:
工作范围为 1 mTorr 至 20 Torr 100、200 和 300 amu 系统 <1.5 秒响应时间="" 多点分析="" 多范围应用="" 死体积几乎为零="" 系统烘烤="" 样品线加热="" <="" div="">
详情介绍:
  • 工作范围为 1 mTorr 至 20 Torr
  • 100、200 和 300 amu 系统
  • <1.5 秒响应时间
  • 多点分析
  • 多范围应用
  • 死体积几乎为零
  • 系统烘烤
  • 样品线加热

UGAPM 规格

进口

类型 不锈钢毛细管,两个额外的2-3/4" CF 端口
流量 在应用压力下为10 -4至10 -5 Torr-L/sec
压力 可选择1 X 10 -3  mbar至 15 mbar

质谱仪

类型 四极杆 (RGA)
探测器 法拉第杯和电子倍增器
范围 100、200 或 300 原子质量单位 (amu)
解析度 在 10 % 峰高处优于 0.5 amu
检测限 <10 ppm 使用法拉第杯检测器,<1 ppm 使用电子倍增器
运营压力  FC 为10 -4 mbar ,CDEM为10 -6  mbar

连接

进样口 1/16" 或 1/8" 世伟洛克接头
排气 1/4" Tygon 管适配器
计算机 以太网或 RS-232C,DB9 连接器
力量 3针接地线

UGA软件

软件 Windows 应用程序。控制 UGAPM 系统,包括 RGA。

系统

混合涡轮分子/阻力泵,81 升/秒。极限压力2 x 10 -9  mbar。极限压力小于 7 mbar 的隔膜泵。防护等级 IP44

材料

建造 SS304 和 SS316
绝缘子 氧化铝、陶瓷
密封件 Viton ®、丁腈橡胶和丁腈橡胶、铜垫片
各种各样的 铝,Tygon ®

一般的

启动时间 距句号 8 分钟
*大限度。环境温度。 35°C
电力需求 <600 W,110 V / 60 Hz或220 V / 50 Hz(不可现场选择)
方面 12" × 11" × 27" (WHL)
重量 75 磅
保修单 一年零件和人工材料或工艺缺陷。泵密封件和隔膜的保修期为 90 天。

 

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