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  • 产品名称：真空仪器残余气体分析仪 RGA 系列 100 200 300

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  • 产品厂商：美国SRS
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简单介绍：
100、200 和 300 amu 系统 优于 1 amu 分辨率 单次扫描6 个数量级的动态 范围 5 x 10 -14 托检测限 RGA Windows 软件 RS-232 和以太网接口
详情介绍：


  • 100、200 和 300 amu 系统
  • 优于 1 amu 分辨率
  • 单次扫描6 个数量级的动态
    范围
  • 5 x 10 -14 托检测限
  • RGA Windows 软件
  • RS-232 和以太网接口

RGA 系列规格

操作

质量范围
   RGA100 1 到 100 amu
   RGA200 1 到 200 amu
   RGA300 1 至 300 amu
质量过滤器类型 四极杆
探测器类型 法拉第杯 - 标准。
电子倍增器 - 选择。
解析度 优于 0.5 amu @ 10 % 峰高（根据 AVS 标准 2.3）。在整个质量范围内可调至恒定峰宽。
灵敏度 (A/Torr) 2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。
用户可在整个高压范围内调节。用 N 2  @ 28 amu 测量，1 amu 全峰宽、10 % 高度、70 eV 电子能量、12 eV 离子能量和 1 mA 电子发射电流。
分钟。可检测分
   压 		5 × 10 -11 托 (FC)。
5 × 10 -14 托 (EM)。
用 N 2  @ 28 amu 测量，1 amu 全峰宽、10 % 高度、70 eV 电子能量、12 eV 离子能量和 1 mA 电子发射电流。
运营压力 10 -4  Torr 到 UHV (FC)
10 -6  Torr 到 UHV (EM)
*大限度。工作温度 70℃
烘烤温度 300 °C（不带 ECU）

离子发生器

设计 开放式离子源，圆柱对称，电子碰撞电离。
材料 SS304 结构
灯丝 具有固件保护的钍铱（双）。内置1 至 10 W脱气加速。现场可更换。
电子能量 25 至 105 V，可编程
离子能量 8 或 12 V，可编程
聚焦电压 0 至 150 V，可编程
电子发射电流 0 至 3.5 mA，可编程

一般的

探头尺寸 8.75" 从法兰面到离子发生器顶部
探头插入 2.0"
探头安装法兰 2.75" CF
*小管内径 1.375"
ECU尺寸 9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL)
可轻松与探头分离以进行烘烤。
LED指示灯 电源开/关、灯丝开/关、脱气开/关、电子倍增器开/关、RS-232 忙、错误、过压、灯丝烧毁。
热身时间 30 分钟后质量稳定性 ±0.1 amu
电脑接口 RS-232C，28,800 波特，带上等命令集
软件 基于 Windows 的应用程序
电力需求 24 VDC @ 2.5 安培。
可选的内置 VAC 适配器。
重量 6 磅。

保修单

一年零件和人工材料和工艺缺陷

 

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联系人：腾跃先生
联系电话：18033424090

邮政编号：518021

地址：深圳市南山区南山街道南光社区南山大道1124号南油第四工业区4栋6层

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